Pimi Pan
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真空系统的7种污染源
全览 · 7 种
1 解吸
2 扩散
3 虚漏
4 渗透
5 真漏
6 蒸发
7 返流
● 实心圆＝起点
箭头＝气体迁移方向 浅灰线＝各机制独立示意
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外部大气
ATMOSPHERE
固体壁
BULK
真空腔体
VACUUM
01
解吸
DESORPTION
02
扩散
DIFFUSION
03
虚漏
VIRTUAL LEAK
04
渗透
PERMEATION
05
真漏
REAL LEAK
06
蒸发
VAPORIZATION
07
返流
BACKSTREAMING
壁面吸附分子 → 真空
壁体内部 → 表面 → 真空
死角 / 缝隙藏气 → 缓慢释出
虚漏：没有直接贯穿外界的通道
外界气体 → 穿过实体壁 → 真空
外界气体 → 贯穿孔道 → 真空
材料本身：固 / 液 → 气
凝聚相
真空泵
泵端气体 / 工作液蒸气 ↑ 逆流入腔
不是穿过壁体，而是沿抽气通道返回